Chroma ATE Inc.

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Chroma ATE a investi dans Innovative Nanotech Inc. avec un transfert de technologie de l'ITRI pour progresser dans l'inspection des processus initiaux pour les semi-conducteurs
2017/11/24

Innovative Nanotech Inc., ayant fait l'objet d'investissements de la part de Chroma ATE Inc., a signé un contrat avec l'Institut de recherche technologique industrielle (ITRI) le 24 novembre pour un transfert de "Technologie de surveillance des nanoparticules". De plus, ITRI sera un actionnaire majeur d'Innovative Nanotech. Innovative Nanotech a récemment conclu un contrat avec le Parc scientifique de Hsinchu pour développer et créer des systèmes de surveillance des nanoparticules liquides utilisées dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour améliorer le taux de rendement.

ITRI
Figure : Leo Huang, PDG de Chroma ATE Inc. (à droite), a signé un contrat avec l'Institut de recherche technologique industrielle (ITRI) le 24 novembre pour un transfert de "Technologie de surveillance des nanoparticules" au profit de la nouvelle start-up de Chroma, Innovative Nanotech Inc.

Une grande quantité de solutions liquides est souvent utilisée pour nettoyer, meuler et graver la surface des plaquettes pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs et les impuretés contenues dans la solution ont un impact sur le taux de défauts. La technologie de mesure des particules par diffusion de la lumière ne peut actuellement pas détecter précisément la taille et la quantité des particules de solution de moins de 20 nm, ce qui rend difficile le contrôle du processus de fabrication. De plus, avec un développement passant de 20 nm à 10 nm, voire 7 nm, les transistors miniaturisés rendent la largeur du chemin du courant étroite ; par conséquent, lorsque des impuretés telles que des nanoparticules apparaissent dans la solution, cela affecte le taux sans défaut du produit.

Innovative Nanotech va présenter aux fabricants de semi-conducteurs un système de surveillance de nanoparticules de nouvelle génération, SuperSizer, qui détectera avec précision la taille et la quantité des particules de plus de 5 nm. Cela permettra aux fabricants de prendre les mesures nécessaires pour améliorer le processus conformément aux résultats de la surveillance. En plus du processus de fabrication des semi-conducteurs, cette technologie peut également être appliquée aux secteurs de l'électronique, de l'optoélectronique et des matériaux biomédicaux.

Innovative Nanotech va se développer sur le marché mondial en intégrant les canaux de vente et de marketing du groupe Chroma. Chroma ATE Inc. est un fournisseur de premier plan mondial de systèmes de test automatisés, de systèmes de fabrication intelligents, de solutions de test et d'automatisation clés en main et dispose de nombreuses gammes de produits dorsaux de mesures de précision dans le domaine des tests des semi-conducteurs. Innovative Nanotech va devenir le fournisseur de solutions frontales de tests de processus de semi-conducteurs de Chroma pour répondre aux exigences de tests d'un processus complet de fabrication de semi-conducteurs.